物理学中，干涉是两列或两列以上频率相同的波在空间中重叠时发生叠加从而形成新波形的现象。例如采用光学分束器将一束来自单色点光源的光分成两束后，再让它们在空间中的某个区域内重叠，将会发现在重叠区域内的光强并不是均匀分布的：其明暗程度随其在空间,时间中位置的不同而变化，最亮的地方超过了原先两束光的光强之和，而最暗的地方光强有可能为零，这种光强的重新分布被称作“干涉条纹”。

白光干涉仪是一款用于各种精密器件及材料表面进行纳米级测量的检测仪器，采用白光干涉技术，相移干涉技术为主体结合精密Z向扫描模块、三维建模算法等对器件表面进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2维、3维参数来获得微观形貌。白光干涉仪基于白光干涉技术原理，光源发出的光被准直，然后通过分光棱镜后分成两束，两束光分别从样品与参考镜面反射，最终汇聚并发生干涉，通过测量不同点位干涉条纹的变化来测量表面三维形貌，如图1所示。

图1 白光干涉原理示意图

图2 白光干涉仪结构

  白光干涉仪能够量测大范围测量（数平方毫米），其中Z轴分辨率能达到0.1nm，水平分辨率达到0.3μm，准确量测出样品的形貌，白光干涉仪测量速度也十分高效，能在10s以内量测出所需数据，但测量前需校正倾斜度。另一方面白光干涉仪也有局限性，在受表面反射率限制——如果表面反射度不好，测量是难以执行，因此，很多样品并不能测量。如果反射光在参考面和测量面有巨大差异，那么样品也是不能测量的。（反射率必须大于4%的样品才能测量）。

光路图

  适用于半导体、刀具、汽车与航空航天、军工、光学器材、领先制造业、精密加工等行业。