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行业背景
光伏晶圆表面形貌3D测量系统
本系统实现对光伏晶圆表面形貌的3D测量。
硅晶圆表面粗糙度3D测量系统
领先制程制备好经过抛光的硅晶圆表面轮廓起伏在数纳米以内，其表面粗糙度在0.5nm左右，粗糙度精度已到亚纳米级别，在此量级上，接触式轮廓仪和一般非接触式仪器均无法满足检测要求。
本系统结合了光学干涉原理和精密扫描模块，实现对领先制程的硅晶圆表面粗糙度3D测量。
LED芯片3D视觉测量系统
本系统定制开发LED芯片3D视觉测量功能
应用行业
工业生产
机器视觉在智能制造生产中主要用于视觉检测，视觉引导。关键技术包括图像获取、图像预处理、图像分割、图像识别、检测
