适合毫米/微米/亚微米3D测量。
适合微米级别3D测量。
适合亚微米/纳米级别3D测量。
包括条纹投影、白光干涉、AI多焦面叠加等技术.
适合纳米/亚纳米级3D测量。
在线测量/离线一键测量。
适合精密五金件、塑胶件测量。
测量功能:高度/断差,平面度,缝隙、轮廓测量等。
自动光学检测系统AOI
DUV/UV/VIS晶圆检测
扫描电子显微镜检测SEM
检测功能:晶圆过显、玷污、探针、残留和擦伤等缺陷。
在线/离线检测。
适合玻璃、五金件、塑胶件、印刷品、薄膜等产品。
测量功能:高度、轮廓度测量等。