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晶圆缺陷AI检测设备
产品特点

自动光学检测系统AOI

  • DUV/UV/VIS晶圆检测

  • 扫描电子显微镜检测SEM

检测功能：晶圆过显、玷污、探针、残留和擦伤等缺陷。


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产品描述 技术参数 功能特性 案例展示 应用场景

  针对复杂的晶圆表面瑕疵检测问题，明日星辰提供以深度学习算法为主、传统机器视觉算法为辅的结合方案，融合目标检测、分类、回归、识别算法，并结合自研加速算法，打造的一体化晶圆缺陷AI检测设备方案。

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